臺大工業工程學研究所

臺灣大學工業工程學研究所藍俊宏副教授參與之半導體自動光學檢測技術聯盟團隊，成功開發出高精密半導體自動光學檢測技術，專注於先進自動化光學檢測產業及其他精密工業之線上自動光學檢測設備之研發。該技術使用深紫外寬頻光源進行光學檢測，並運用機器學習演算法進行反向優化最佳化，針對多項關鍵尺寸量測突破技術瓶頸。此技術可以量測微米甚至次微米級別的直徑，其深寬比普遍大於10倍的細長孔，超越世界半導體先進封裝界所需之技術指標。此技術不僅可用於半導體製造，還可用於其他精密工業的線上自動光學檢測設備之研發，是臺灣發展關鍵自主量測技術與設備的重要時刻。

https://www.nstc.gov.tw/folksonomy/detail/e484bc71-937a-4747-80c6-5ce36bcd027c?l=ch